製品

ジ(t-ブチルアミノ)シラン

CAS: 186598-40-3
化学式/略称：BTBAS

ジ(t-ブチルアミノ)シランは(BTBAS)の一種です。 シランカップリング剤。 BTBAS は化学気液化学の前駆体であり、均一な窒化シリコンを堆積できます。準備に使用できます 窒化ケイ素薄膜、半導体デバイス、シャロートレンチ絶縁膜。

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可用性ステータス:





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製品説明

ジ(t-ブチルアミノ)シランの基本特性

分子式	C8H22N2Si
外観	無色の液体
分子量	174.36
融点	167℃
密度	0,816g/cm3
屈折率	1.4236
引火点	30℃
酸性度係数 (pKa)	11.91±0.70(予測値)
純度	99.9%(99.9999%-Si)
パッケージ情報	100g、500g、1kg、またはカスタマイズされた