テトラキス（ジメチルアミノ）チタンの基本特性
外観: 黄色からオレンジ色の液体
分子量: 224.17
融点: <4°C
沸点: 50 °C0.5 mm Hg(lit.)
密度: 0.947 g/mL at 25 °C(lit.)
保管条件: 可燃物エリア
溶解性: ヘキサン、トルエンなどのさまざまな有機溶媒に溶解します。水と接触すると二酸化チタンとジメチルアミンに分解します。
安定性: 湿気に敏感なので、密封して不活性ガス環境で保管する必要があります。
テトラキス (ジメチルアミノ) チタンの主な特長
高い純度および反応性
テトラキス (ジメチルアミノ) チタンは通常 99.9% を超える純度を持ち、半導体堆積中の効率的な反応と均一な薄膜生成を保証します。
優れた熱安定性
広い温度範囲にわたる安定性により、CVD および ALD プロセス中の制御可能な蒸発性能が確保され、工業生産に適しています。
高いボラティリティ
この化合物は比較的低温で効率的に気化し、堆積システム内の輸送を容易にし、堆積速度の正確な制御を可能にします。
さまざまな基板材質に対応
テトラキス (ジメチルアミノ) チタンは、シリコン、酸化アルミニウム、窒化シリコンなどのさまざまな基板材料への薄膜堆積に使用でき、強力な適合性を示します。
テトラキス（ジメチルアミノ）チタンの主な用途
半導体産業
金属チタンまたは二酸化チタンの薄膜を堆積するための ALD/CVD プロセスや、マイクロ電子部品の製造においてチタン源前駆体として使用されます。
光電子材料
光学コーティングや太陽電池材料では、テトラキス (ジメチルアミノ) チタンを使用して高屈折率 TiO2 膜を生成することができ、それによって光エネルギー変換効率が向上します。
保護コーティング
蒸着法により形成されるTi系皮膜は硬度、耐食性に優れ、精密機器や切削工具の表面処理に適しています。
研究開発と材料科学
チタンベースのナノ材料、触媒担体、新しい薄膜材料の研究に広く使用されています。
予防
テトラキス (ジメチルアミノ) チタンは水と容易に反応して、アンモニアと二酸化チタンの沈殿を生成します。したがって、乾燥した不活性ガス (アルゴンや窒素など) の雰囲気下で保管する必要があります。
高温で分解し、有害なガスを発生する可能性があります。熱源や火源から遠ざけてください。
特別な耐食性の容器を使用し、密閉して涼しく換気の良い化学倉庫に保管することをお勧めします。
漏れが発生した場合は、乾燥した不活性吸着剤 (シリカゲルなど) を使用して吸収し、水で洗浄しないでください。
誤って皮膚に触れた場合は、直ちに多量の水で少なくとも 15 分間洗い流し、医師の診察を受けてください。
よくある質問
1. この製品の純度はフィルムの品質に影響しますか?
はい。テトラキス (ジメチルアミノ) チタンの純度が高くなるほど、膜の均一性、密度、誘電特性が向上します。したがって、高純度グレード (>99.9%) を使用することをお勧めします。
2. 保管中に不活性雰囲気が使用されるのはなぜですか?
この化合物は空気中の水分と反応しやすいため、不活性雰囲気は分解を効果的に防止し、製品の保存寿命を延ばします。
テトラキス (ジメチルアミノ) チタンの詳細または購入については、電子メールまたは WhatsApp でお気軽にお問い合わせください。
