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トリス(ジメチルアミノ)シクロペンタジエニルジルコニウム

CAS: 33271-88-4
化学式/略称:CpZr

トリス(ジメチルアミノ)シクロペンタジエニルジルコニウム 安定性と蒸気圧が優れているだけでなく、反応性も優れています。炭化水素や四塩化炭素などの有機溶媒に可溶で、次のような用途に使用できます。 酸化ジルコニウム薄膜を作製するための CVD または ALD 技術.
 
同義語: CpZr(NMe2)3 CpTDMAZ、CPTDMAZ2、トリス(ジメチルアミノ)シクロペンタジエニルジルコニウム、シクロペンタジエニルトリス(ジメチルアミノ)ジルコニウム、(シクロペンタジエニル)ジルコニウムトリス(ジメチルアミド)
可用性ステータス:
数量:
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