トリス(N,N'-ジ-I-プロピルホルムアミジナト) ランタン(III) 基本特性
| 同義語 | トリス(N,N'-ジ-i-プロピル;トリス(N,N''-ジ-i-プロピルホルムアミジナト)ランタン(III);トリス(N,N'-ジ-i-プロピルホルムアミジナト)ランタン(III);トリス(N,N'-ジ-i-プロピルホルムアミジナト)ランタン(III); |
| 分子式 | C21H45LaN6 |
| 外観 | 白色～オフホワイトの粉末 |
| 分子量 | 520.5277 |
| 溶解性 | 一般的な有機溶剤に可溶、水には不溶 |
| 純度 | ≧98% |
| パッケージ情報 | 100g、500g、1kgまたはカスタマイズされた |
トリス(N,N'-ジ-I-プロピルホルムアミジナト) ランタン(III) 主な特徴
高い揮発性と熱安定性
トリス(N,N'-ジ-i-プロピルホルムアミジナト)ランタン(III)は、ALD/CVDプロセスにおける効率的かつ安定した輸送を保証するのに十分な蒸気圧を備えており、その熱安定性により膜の純度と均一性が保証されます。
安定したリガンド構造
この化合物のホルムアミジニウム配位子は優れた構造安定性をもたらし、ランタン中心の安定化に役立ち、基板上での核生成速度が速くなり、核生成遅延が短くなります。
低温成膜要件に最適
他のランタニド前駆体と比較して、この製品は低温で堆積できるため、基板への熱損傷が軽減され、機器の互換性が向上します。
理想的な前駆体
C21H45LaN6 は単一ソース前駆体として、高品質の La2O3 薄膜や、LaLuO3 や LaYO3 などの複雑なランタンベースの希土類酸化物薄膜の成膜に広く使用されており、次世代の高性能デバイスの主要材料となります。
トリス(N,N'-ジ-I-プロピルホルムアミジナト) ランタン(III) 主な用途
マイクロエレクトロニクスと半導体製造
これは、絶縁層、バリア層、または機能層の作製に使用できるランタンベースの材料であり、薄膜の均一性と純度が極めて高い高度なデバイス構造のプロセスに特に適しています。
光学材料
トリス(N,N'-ジ-i-プロピルホルムアミジナト)ランタン(III)は、光通信や固体照明などの分野に適した、特定の光学特性を備えた希土類ドープ薄膜または酸化物の堆積に使用できます。
触媒
C21H45LaN6 は、活性有機金属試薬として、水素化、カルボニル化、重合などの有機合成反応において均一または不均一触媒の有機前駆体として機能します。
予防
トリス(N,N'-ジ-i-プロピルホルムアミジナト)ランタン(III)は、空気と湿気に非常に敏感です。大気への曝露は急速な分解または加水分解を引き起こす可能性があります。したがって、高純度窒素またはアルゴン雰囲気下のグローブボックスまたは真空/不活性ガスシステム内で取り扱う必要があります。
保存期間を延ばすために、製品は密閉した遮光容器に入れ、低温で保管する必要があります。強力な酸化性化学物質、酸、アルカリから離して保管する必要があります。
オペレーターは、目、皮膚、気道が機器に触れないよう、耐薬品性の手袋、安全メガネ、白衣などの完全な個人用保護具を着用する必要があります。
皮膚に付着した場合は、直ちに患部を多量の石鹸と水で洗い、汚染された衣服を脱いでください。吸入した場合は、直ちに患者を新鮮な空気の場所に移動させてください。刺激が続く場合、または物質が目に入った場合は、直ちに医師の診察を受けてください。
すべての廃棄物は、有機金属廃棄物の処理に関する地域および国の規制に従って分類および処理する必要があり、土壌や水域への長期的な悪影響を防ぐために無差別に環境に放出してはなりません。
よくある質問
1. 輸送中にコールドチェーンは必要ですか?
通常、化合物を熱や湿気から確実に保護し、その安定性と純度を保証するには、ドライアイスまたは極低温固体輸送が必要です。
2. C21H45LaN6 の純度は最終膜の品質にどのような影響を与えますか?
純度は、High-k 薄膜の電気的性能を決定する重要な要素です。その純度が高いため、堆積された La2O3 またはその他のランタンベースの酸化膜には不純物原子 (Fe、K、Na など) がほとんど含まれていません。これらの不純物はトラップセンターとして機能し、High-k 誘電体膜の漏れ電流と誘電損失の増加につながり、デバイスの信頼性と寿命に重大な影響を与えます。
Wolfa はトリス(N,N'-ジ-I-プロピルホルムアミジナト) ランタン(III) を専門的に供給し、少量バッチのサンプリングと大量調達のニーズをサポートします。包装オプションには、通常のガラス瓶、ガラスアンプル、金属アンプルなどが含まれます。
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