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dicarbonylcyclopen-tadienyl cobalt

CAS:12078-25-0
化学式: CpCo(CO)₂

ジカルボニルシクロペンタジエニルコバルト は、安定したカルボニル構造と優れた反応性を備えた揮発性コバルト前駆体であり、相互接続用途に適したコンフォーマルな低抵抗膜の製造を可能にします。広く使用されています 高度な半導体製造における薄膜堆積のための ALD および CVD プロセス、材料科学と有機金属化学において重要な役割を果たしています。
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