テトラキス(ジエチルアミノ)ジルコニウムの基本特性
| 同義語 | テトラキス(ジエチルアミノ)ジルコニウム(IV)、99%;テトラキス(ジエチルアミノ)ジルコニウム,99%;テトラキス(ジエチルアミノ)ジルコニウム;テトラキス(ジエチルアミノ)ジルコニウム |
| 分子式 | C16H40N4Zr |
| 外観 | 黄色の液体 |
| 分子量 | 379.74 |
| 沸点 | 128 °C0.05 mm Hg(点灯) |
| 密度 | 1.026 g/mL、25 °C(点灯) |
| 屈折率 | n20/D 1.51(点灯) |
| 引火点 | 54°F |
| 保管条件 | 水のないエリア |
| 純度 | 6N |
| パッケージ情報 | 100g、500g、1kg、またはカスタマイズされた |
テトラキス(ジエチルアミノ)ジルコニウムの主な特徴
優れたALD反応性
テトラキス (ジエチルアミノ) ジルコニウムは高い表面反応性を示すため、低温 ALD プロセスに適しており、緻密で均一なジルコニア膜の取得に貢献します。
良好なボラティリティ
液体前駆体である TDEAZ は、制御された加熱条件下で安定した蒸気輸送特性を示すため、正確な計量やプロセスのスケールアップに適しています。
制御可能な純度
適切なプロセスウィンドウ内で使用すると、炭素残留のリスクを効果的に軽減し、薄膜用の半導体デバイスの純度要件を満たすことができます。
成熟した産業応用基盤
TDEAZ は、さまざまな酸化ジルコニウム (ZrO₂) および関連する複合薄膜プロセスで検証されており、研究開発、パイロット生産、および量産段階に適しています。
テトラキス(ジエチルアミノ)ジルコニウムの主な用途
ジルコニア薄膜作製のためのALD
テトラキス (ジエチルアミノ) ジルコニウムは、ZrO2 薄膜の製造に一般的に使用されるジルコニウム ソースであり、ロジック デバイス、メモリ、および高度なプロセスにおける高誘電率材料の堆積に広く使用されています。
CVDプロセス
特定の CVD プロセス条件下では、TDEAZ を使用して機能層または界面層の構築用のジルコニウムベースの薄膜を堆積できます。
半導体および先端材料の研究
大学や研究機関では、この前駆体は、新しい薄膜材料、界面工学、およびプロセスパラメータの最適化に関する研究によく使用されます。
先進のコーティングと機能性薄膜
半導体分野を超えて、TDEAZ は高性能セラミック コーティングや機能性酸化物薄膜の調製経路を探索するためにも使用されています。
予防
テトラキス (ジエチルアミノ) ジルコニウムは湿気や空気に非常に敏感であるため、いかなる形の湿気も侵入しないように不活性雰囲気 (窒素やアルゴンなど) で取り扱い、保管する必要があります。
激しい反応や分解を防ぐため、この化合物は水、アルコール、強力な酸化剤、または酸性物質と接触させてはなりません。
操作中は保護手袋、ゴーグル、その他の保護具を着用する必要があり、操作はドラフトまたは不活性雰囲気システム内で実行する必要があります。
薬剤が皮膚や目に入った場合は、直ちに多量の水で洗い流し、直ちに医師の診察を受けてください。また、化学物質の性質について専門家に知らせてください。
輸送中は、シールが損傷していないことを確認し、高温、振動、梱包の損傷を避ける必要があります。通常、有害化学物質に関する規制に従って実施されます。
よくある質問
1. テトラキス(ジエチルアミノ)ジルコニウムとは何ですか?
TDEAZ は、化学式 C16H40N4Zr の有機ジルコニウム前駆体です。沸点は 128 °C (0.05 mm Hg、点灯)、引火点は 54 °F です。主に、ジルコニウムベースの薄膜を調製するための ALD および CVD プロセスで使用されます。
2. TDEAZ は主に堆積にどのような材料を使用しますか?
最も一般的な用途は酸化ジルコニウム (ZrO2) 薄膜の堆積であり、ジルコニウムベースの複合酸化物薄膜の研究にも使用できます。
3. この化合物は低温 ALD プロセスに適していますか?
はい、その高い反応性により、比較的低温の ALD プロセスウィンドウに適しています。
4. この製品の保管要件は何ですか?
通常は不活性ガス保護と専用の密封容器を使用して、無水かつ酸素のない条件で保管する必要があります。
5. テトラキス (ジエチルアミノ) ジルコニウムは工業的な大量生産に適していますか?
成熟したプロセス制御および安全システムが整備されている TDEAZ は、パイロット規模および工業規模の ALD/CVD 生産で広く使用されています。
Wolfa はテトラキス（ジエチルアミノ）ジルコニウムを専門的に供給し、少量バッチのサンプリングと大量調達のニーズをサポートします。包装オプションには、通常のガラス瓶、ガラスアンプル、金属アンプルなどが含まれます。
製品分析レポート（COAなど）や調達コンサルティングなど、 いつでも jomin@wolfabio.comまでお気軽にお問い合わせください。
