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トリス(ジメチルアミノ)シラン丨CAS 15112-89-7

CAS: 15112-89-7
化学式/略称: TDMAS

トリス(ジメチルアミノ)シラン 優れた安定性と高い蒸気圧を有するだけでなく、かなりの反応性も示します。したがって、それは広く使用されています SiO2 堆積研究のための現在の ALD 法の前駆体ソース.
 
同義語: TDMAS、3DMAS、LS 1460、アミノ)siL、(Me2N)3SiH、3DMAS : [(CH3)2N]3SiH、トリス(ジメチルアミノ)シラン、トリ(ジメチルアミノ)シラン、トリス(ジメチルアミノ)シラン、トリス(ジメチルアミド)シラン
可用性ステータス:
数量:
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